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1.1 JEOL場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

儀器名稱：JEOL場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡（含能譜儀、波譜儀、背散射電子衍射儀）

主要參數(shù)：二次電子像分辨率1.2nm（30kV），最大放大倍數(shù)300,000×

主要功能：微區(qū)形貌觀察、材料斷口形貌及失效分析、微區(qū)成分定性/定量分析

1.2 Zeiss場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

儀器名稱：Zeiss場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡（含能譜儀、Feature夾雜物自動(dòng)統(tǒng)計(jì)軟件）

主要參數(shù)：二次電子像分辨率1.3nm（20kV），最大放大倍數(shù)1,000,000×

主要功能：夾雜物自動(dòng)統(tǒng)計(jì)、微區(qū)形貌觀察、材料斷口形貌及失效分析、微區(qū)成分定性/定量分析

1.3 全自動(dòng)夾雜物分析系統(tǒng)

儀器型號(hào)：Explorer 4 （FEI）

主要參數(shù)：CeB6燈絲，最小夾雜物分析尺寸500nm

主要功能：可以進(jìn)行樣品中500nm以上的夾雜物、顆粒等全自動(dòng)統(tǒng)計(jì)分析。

1.4 EVO18鎢燈絲掃描電子顯微鏡

儀器名稱：EVO18鎢燈絲掃描電子顯微鏡（含能譜儀）

主要參數(shù)：二次電子像分辨率3.0nm（30kV），放大倍數(shù)~100,000×

主要功能：微區(qū)形貌觀察、材料斷口形貌及失效分析、微區(qū)成分定性/定量分析

1.5 透射電子顯微鏡

儀器名稱：場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡（含能譜儀）

主要參數(shù)：點(diǎn)分辨率0.19nm（200kV），線分辨率0.102nm（200kV），最大放大倍數(shù)50～1,500,000×

主要功能：顯微組織形貌及分布、材料中缺陷結(jié)構(gòu)、相鑒定、晶粒取向、微區(qū)成分定性/定量分析

1.6 電子探針

儀器名稱：掃描電子探針顯微鏡（含能譜儀）

主要參數(shù)：分析元素范圍Be4 - U92，二次電子像分辨率5nm

主要功能：微區(qū)成分定性/定量分析、元素化學(xué)狀態(tài)分析、表面顯微結(jié)構(gòu)觀察

1.7 X射線衍射儀

儀器名稱：X射線衍射儀

主要參數(shù)：最大輸出功率18kW，2q角測(cè)量范圍0.5°～145°，測(cè)試溫度范圍RT～1500℃

主要功能：物相定性/半定量分析、晶格常數(shù)測(cè)定、晶粒尺寸測(cè)定、織構(gòu)及晶體取向分析、殘余應(yīng)力分析、高溫衍射實(shí)驗(yàn)

1.8 蔡司金相顯微鏡

儀器名稱：蔡司金相顯微鏡

主要參數(shù)：標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)50～1000×，CCD攝像頭1200萬像素

主要功能：組織觀察、晶粒度評(píng)定、非金屬夾雜物分析、多相分析

1.9 高溫激光掃描共聚焦顯微鏡

儀器名稱：高溫激光掃描共聚焦顯微鏡

主要參數(shù)：分辨率1.27μm (TOS 5× NA: 0.16), 1.88μm (TOS 10× NA: 0.23),

0.58μm (TOS 20× NA: 0.35), 0.51μm (TOS 5× NA: 0.51)

溫度范圍50 ~ 1700℃

主要功能：樣品加熱原位觀察、3D表面測(cè)量

1.10 真色彩掃描共聚焦顯微鏡

儀器名稱：真色彩掃描共聚焦顯微鏡

主要參數(shù)：分辨率0.18μm (100×, NA: 0.95, 藍(lán)色單色圖像)

主要功能：表面粗糙度分析、組織觀察、表面形貌分析